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專業分析導致影像測量儀誤差的因素


在影像測量儀上的測量均是單軸或二維平面坐標的測量,測量時先對焦,后對準,再讀數(計數),最后計算處理。讀數來自于標尺即光柵系統,對焦對準依靠顯微鏡光學系統,還有一個直接影響測量效果和精度的照明光源,因為,基于影像方法測量的儀器,如果被測件不能被有效正確的照明,則測量的結果顯然要偏離其真實尺寸。除前述因素外,環境條件也是制約測量精度不可忽視的因素。基于上述分析,可以歸納出以下幾個方面的誤差來源:

在影像測量儀上的測量均是單軸或二維平面坐標的測量,測量時先對焦,后對準,再讀數(計數),最后計算處理。讀數來自于標尺即光柵系統,對焦對準依靠顯微鏡光學系統,還有一個直接影響測量效果和精度的照明光源,因為,基于影像方法測量的儀器,如果被測件不能被有效正確的照明,則測量的結果顯然要偏離其真實尺寸。除前述因素外,環境條件也是制約測量精度不可忽視的因素。基于上述分析,可以歸納出以下幾個方面的誤差來源:

(1)光柵計數尺的誤差;

(2)工作臺移動時存在的直線度、角擺帶來的誤差;

(3)工作臺兩測量軸垂直度帶來的誤差;

(4)顯微鏡光軸與工作臺面不垂直帶來的誤差;

(5)測量室溫度偏離20℃參考溫度帶來的誤差;

(6)光源照明條件的變化帶來的對焦和對準誤差。

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